摘要
随着电子设备的小型化、集成化和多功能化发展趋势，对电子元器件提出了更高的要求，铁电薄膜电容器作为电子设备中不可或缺的基础元件，其高介电常数、低介电损耗、优良的温度稳定性和频率稳定性等特性，受到研究者越来越多的关注。
Bi0.5Na0.5TiO3（BNT）基铁电材料作为一种重要的无铅铁电材料，具有良好的铁电性、介电性和压电性，被认为是替代传统铅基铁电材料的理想选择之一。
本论文综述了近年来BNT基铁电薄膜电容器的制备方法、结构性能及其应用，并展望了其未来发展趋势。
关键词：Bi0.5Na0.5TiO3；铁电薄膜；电容器；制备；性能
随着电子信息技术的快速发展，对电子元器件的性能要求越来越高，尤其是对小型化、集成化、高性能化的需求日益迫切。
作为电子电路中重要的基础元件之一，电容器在储存电荷、滤波、耦合、定时等方面发挥着不可替代的作用。
传统的陶瓷电容器虽然成本低廉，但其体积较大，难以满足小型化和高密度集成的需求。
相比之下，铁电薄膜电容器具有体积小、重量轻、可集成度高等优点，在微电子、光电子、信息存储等领域具有广阔的应用前景。
铁电材料是一类具有自发极化且在外加电场作用下能够翻转的材料，其介电常数高、介电损耗低，是制备高性能电容器的理想材料。
钛酸铋钠(Bi0.5Na0.5TiO3，简称BNT)基铁电材料作为一种重要的无铅铁电材料，具有优异的铁电性、介电性和压电性，被认为是替代传统铅基铁电材料(如Pb(Zr,Ti)O3，简称PZT)的理想选择之一，受到国内外研究者的广泛关注。
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