文献综诉
一、选题背景
随着二元光学器件(Binary Optical Element)在诸如空间技术、超精密加工、微光机电系统、计算机技术、信息处理、光纤通信、生物医学、国防军事等众多领域广泛应用，BOE 表面质量检测以及加工工艺过程中控制参数的检测变得日益重要。对二元光学器件表面轮廓以及质量参数进行无损纳米级的尺度检测是保证其制作工艺满足精度要求及系统有良好性能的前提和主要手段。
二元光学器件微轮廓由于是由微观结构单元组成的三维复杂结构, 其测量一般都需要借助直接的或间接的显微放大, 要求有较高的横向分辨率和纵向分辨率。与平滑表面的测量不同, 微结构表面的测量不仅要测量表面的粗糙度或瑕疵, 还要测量表面的轮廓、形状偏差和位置偏差。因此微结构表面的测量相对而言是比较困难的。针对这个问题，本文基于交叠衍射成像技术提出了一种光学元件的轮廓检测方法，阐述了该方法的原理和结构系统。
二、研究意义
光学科学技术与产业发展至今，从事光学检测的人们形成了一个共识-现代
光学元件的检测比现代光学元件的制造更具挑战性。也就是说，一个能胜任从事现代光学元件的制造者一定首先要胜任和解决现代光学元件的各种检测方法和
技术。
要反映机械零件表面上微观几何形状误差，作为机械零件二维表面形貌，其表面粗糙度可作为一个重要的指标，机械和仪器的使用性能和使用寿命将受表面粗糙度的直接影响。所以，在企业以产品质量为生命的今天，精密加工元件表面的粗糙度不能忽视。
而传统的光学元件检测如白光干涉与偏振检测方法都存在各自的缺陷：白光干涉结构复杂，测量范围小；偏振方法，如Muller矩阵检测手段，仪器复杂，不
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