开题报告填写要求
- 开题报告（含文献综述）作为毕业设计（论文）答辩委员会对学生答辩资格审查的依据材料之一。此报告应在指导教师指导下，由学生在毕业设计（论文）工作前期内完成，经指导教师签署意见及所在专业审查通过后生效；
- “文献综述”应按论文的格式成文，并直接填写在本开题报告第一栏目内，学生写文献综述的参考文献应不少于 15 篇（不包括辞典、手册）；
- 有关年月日等日期的填写，应当按照国标 GB/T 7408—2005
- 《数据元和交换格式、信息交换、日期和时间表示法》规定的要求， 一律用阿拉伯数字书写。如“2014 年 3 月 15 日”或“2014-03-15”
1．结合毕业设计（论文）课题情况，根据所查阅的文献资料，每人撰写2000 字左右的文献综述：
相移干涉仪波前探测与装校技术研究文献综述
摘要：针对相移干涉仪的工作原理，运用五棱镜扫描法进行光学系统波前探测，实现了低阶像差的高精度检测，并分析系统检测精度对元件装校精度的灵敏度，给出了系统精确装校的实施方案，并进行了系统装校实验，探索出合适的五棱镜扫描检测系统装校流程。
关键词：相移干涉仪；五棱镜扫描法；波前探测；波前传感器；系统装校；光学设计
相移干涉仪，以迈克尔逊干涉仪为例，若干涉条纹发生移动，一定是场点对应的光程差发生了变化，引起光程差变化的原因，可能是光线长度L发生变化，或是光路中某段介质的折射率n发生了变化，或是薄膜的厚度e发生了变化。而相移干基本理论、相移干涉仪的类型与光路原理的研究有利于全面认识相移干涉仪的特点，可以丰富实现实际设计干涉仪波前测试系统的研究。
本研究拟分波前探测的理论与几种测试方法分析和光电仪器设计与装校分析两部分。首先，分析不同波前探测方法的优缺点以及误差因素，归纳出合适的探测方法，据此得出光学系统设计的启示，并找出合理的设计与计算方法进行实验装校。
对波前探测从被测波面划分区域和逐步扫描的角度进行研究，运用五棱镜扫描法[[1]]，突破传统的从参考标准波面的角度去研究波前探测的模式，使相移干涉仪波前探测与装校技术的研究能从一个新的角度获得解决方法。本研究拟分波前探测的理论与几种测试方法分析和光电仪器设计与装校分析两部分。首先，分析不同波前探测方法的优缺点以及误差因素，归纳出合适的探测方法，据此得出光学系统设计的启示，并找出合理的设计与计算方法进行实验装校。
对于大型光学元件和光学系统来说,目前波前探测方法众多，传统的是采用干涉法和刀口仪法[[2]]。干涉法受环境的影响十分严重,而刀口仪法虽然可以通过建立面形缺陷与阴影图相对应关系的数学模型，得到元件的面形缺陷，但是很难给出定量的结果。为此通过查阅文献，先分析几种得到认可的波前检测方法：
- 扫描法
用扫描法测量大口径长焦距镜面或透镜焦距[[3]]的方法。这种方法是通过对一块Ronchi光栅的Talbot像与另外一个Ronchi光栅所产生的莫尔条纹转角的计量来测量长焦距;通过扫描对大口径范围内的整个区域进行测量。这种方法能够实时地、非常精确地测量长焦距。测量过程中 ,透镜与其后的光栅的距离应尽可能地小;整个设备在测量过程中需要放在一个相对密闭的罩中,以减少空气扰动对测量带来的影响。通过CCD获取莫尔条纹的图像,并用计算机来处理，具有处理速度快、计算精度高的特点，测量精度可以达到0.1%。
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