文献综述（或调研报告）：
基于恒温差模式的风速传感器电路系统的设计
摘要：
MEMS风速风向传感器具有体积小，重量轻和可批量制备等优点，因此，广泛应用在气象监测／交通运输和物联网等领域。本文针对MEMS风速风向传感器芯片，设计了相应的驱动与测量电路。本文的主要工作包括：
首先，对根据MEMS风速风向传感器的芯片的结构和原理，选择合适有效的处理芯片，设计了相应的硬件电路，主要包括驱动模块和测温模块。并利用相关软件对电路进行仿真。选择合适电源芯片，减少因电源产生的输出信号抖动问题。
然后，设计滤波算法，减小传感器的输出跳动，提高其输出稳定性。为了有效抑制传感器的温漂现象，利用PID技术编写控制硬件电路的软件算法，快速自动调节芯片温度，使其与环境温度的温差保持恒定。
最后，分别测试了以上硬件电路和软件算法的性能。在温湿度箱中，对MEMS风速风向传感器进行老化。并在风洞中，完成了恒温差控制模式下传感器的风速和风向响应测试，结果表明，风速的量程可达在40m/s，风向可实现0-360度的测量，风速误差约为3%；风向误差不超过2度。多次重复实验结果表明，经过老化之后，传感器的输出趋于稳定。
关键词：MEMS，热式风速风向传感器，恒温差电路
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