摘要
半导体生产车间对环境要求极为苛刻，温湿度、洁净度等参数的轻微波动都可能对产品良率造成巨大影响。
因此，实时监测车间环境参数，并对异常情况及时预警，对保障产品质量、提高生产效率至关重要。
本文针对半导体生产车间环境检测需求，对基于51单片机的环境检测系统进行研究。
首先阐述了半导体生产车间环境要求及检测系统相关概念，接着分析了国内外研究现状，并对关键技术进行探讨。
最后对基于51单片机的半导体生产车间环境检测系统未来发展趋势进行展望。
关键词：半导体生产车间；环境检测；51单片机；传感器；物联网
1.1半导体生产车间环境要求半导体生产过程对环境要求极高，微小的尘埃颗粒、温湿度的波动都可能导致产品缺陷，严重影响良率。
因此，半导体生产车间需要严格控制以下环境参数：温湿度：温度和湿度是影响半导体生产的重要因素，过高或过低的温湿度都会影响生产设备的精度和稳定性，进而影响产品质量。
洁净度：洁净度是指空气中尘埃颗粒的含量，是衡量洁净室洁净程度的重要指标。
半导体生产过程中，微小的尘埃颗粒都可能导致产品缺陷，因此需要严格控制洁净室的洁净度。
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